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公司DIW超纯水设备中,臭氧超纯水设备、二氧化碳超纯水设备、氨水超纯水设备各自的主要功能及使用场景有何不同?
董秘回答(国林科技SZ300786):
尊敬的投资者,您好。高浓度臭氧水发生器可替代传统SC1/SC2化学清洗药液,用于晶圆表面颗粒杂质、金属离子、原生氧化层、有机污染物剥离清洗,减少化学药剂及危废排放,适配先进制程低污染清洗需求;二氧化碳水发生器可抑制静电产生,消除硅屑静电吸附,避免静电损伤与微粒吸附,可应用于封测、显示、光伏硅片加工产线;氨水发生器可应用于晶圆颗粒清洗、氧化层调控制成,适配芯片、先进封装、功率半导体各类湿法产线。感谢您的关注。